Mit dem 3D Mask-Aligner MP700-3 bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative, industrietaugliche und skalierbare Positionierlösung für die Elektronik- und auch Halbleiterindustrie. Das parallelkinematische System mit Luftlagern und Direktantrieben arbeitet komplett partikel- und wartungsfrei und ermöglicht höchste Präzision bei ultraflacher Bauweise und hoher Dynamik. Beim MP700-3 handelt es sich um einen ultraflachen […]
Flache Drehtische für das Wafer-Handling
Die Steinmeyer Gruppe gilt als ausgewiesener Spezialist für die Konstruktion, Entwicklung und Herstellung anspruchsvoller Positionierlösungen zur Wafer- und Chip-Herstellung. Ein Beispiel sind die Drehtische der Baureihen DT200 und DT310. Die hochpräzisen Rotationssysteme sind flach, reinraumtauglich, wartungsfrei sowie kundenspezifisch anpassbar und ermöglichen ein effizientes, wirtschaftliches und gleichzeitig sehr platzsparendes Wafer-Handling. Drehtische […]
Innovativer 5-Achs-Aligner für die Halbleiterindustrie
Mit dem 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative Lösung für hochpräzise Ausrichtprozesse. Die Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch gewährleistet ein Höchstmaß an Präzision, Robustheit sowie Zuverlässigkeit und begeistert gleichzeitig mit kompakter Bauweise und hoher Anwenderfreundlichkeit. Eine ideale Lösung für die optische und aktive Ausrichtung. Das 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem […]